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製品事例
半導体装置用摺動部品
塩ビ （PVC）
半導体
その他
25×36×54mm
0～0.01mm
こちらはPET摺動グレード素材を使用し、複合NC旋盤「INTEGREX」の一体加工で製作した半導体関連部品の切削加工事例です。材質には、ポリエチレンテレフタレート（PET）が本来持つ優れた機械的強度や剛性、トップクラスの寸法安定性に加え、特殊な添加剤を配合することで摩擦係数を極限まで低減させた「PET摺動グレード」を採用しています。本製品は半導体製造ラインにおいて繰り返しの可動や接触が発生する重要コンポーネントであり、製造には多軸制御が可能な複合加工機「INTEGREX」を使用しました。厳格な角度指定や複雑な面取りを含む高難度な形状に対し、工程を細分化せずワンチャッキングの一体加工にて仕上げています。
半導体関連設備に使用される可動部品においては、スムーズな動きを維持する「摺動性能」と、装置の誤作動を防ぐ「寸法精度」を高度に両立させることが不可欠です。本製品のように複雑な幾何形状や、特定の角度指定・シビアな面取り精度が同時に求められるパーツでは、複数の機械へ段取りを分ける分割加工を行うと、掛け替え時に微小な位置ズレが発生し、全体の角度精度や同軸度が損なわれるリスクが高まります。PET摺動グレードは樹脂の中では比較的切削性が良好ですが、シャープな角部の面取りや精密な角度を狙い通りに削り出すには、樹脂特有の弾性変形（刃物から逃げる挙動）を計算に入れた加工ノウハウが不可欠です。この技術的難所に対し、ヤマデンではINTEGREXによるワンチャッキング一体加工を採用いたしました。単一の基準面を保持したまま、旋盤による旋削加工からマシニングによる多軸ミーリング、角度加工までを一気通貫で処理することで、累積公差による位置ズレを完全に排除し、厳しい角度・面取り公差を安定してクリアする高度な再現性を確立いたしました。
当社では、PET摺動グレードをはじめとする高機能エンプラの材料特性を熟知し、難形状や厳密な角度指示に対しても最適なツールパスと治具設計で対応いたします。半導体装置向け摺動部品の寸法維持や、一体加工による工程改善でお困りの際は、頼れる樹脂加工のパートナーとしてぜひご相談ください。
