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製品事例
半導体製造装置用透明部品
材質
アクリル（PMMA）
業界
半導体
形状・用途
その他
ワークサイズ
3t×130×50mm
寸法精度
–
こちらの製品は、半導体装置に使用される透明アクリル製の角物部品で、電子部品、半導体、および測定機械分野向けの装置部材としての加工事例です。本製品の製作においては、卓越した光学特性と耐衝撃性を備えたアクリル（ポリメタクリル酸エステル樹脂）を使用し、切削加工による精密な形状出しを行った後、熱可塑性を利用した曲げ加工を施しています。アクリルはガラスを凌ぐ高い全光線透過率を持ち、内部の動作状態を目視で確認する必要がある装置のカバーや窓、流路ブロックなどの部材に最適です。今回は試作や小ロット生産に対応する体制として、1個から50個までのロット数に対応し、発注から約2週間という短納期での納品を実現いたしました。製品寸法は、装置への組み込み精度を保証するため、設計上の一般公差範囲内を厳格に維持した仕上がりとなっています。
アクリルにおける後工程の曲げ加工は、材料の熱的特性の管理が極めて難しく、加熱温度の過不足によって「白化」や「クラック（ひび割れ）」、さらには局所的な肉厚減少による歪みが発生しやすいという技術的課題があります。ヤマデンでは、長年蓄積された加工ノウハウに基づき、アクリルのガラス転移点に適した加熱温度と均一な熱処理条件を設定することで、曲げ部に発生しやすい残留応力を最小限に抑えています。これにより、アクリルが持つ本来の透明度を一切損なうことなく、狙い通りの曲げ角度と形状安定性を確保し、装置部品として要求される外観品質と機械的強度を両立させています。
本事例のように、難易度の高い切削・曲げ加工をワンストップで処理することにより、お客様の調達手間の削減と開発リードタイムの短縮に貢献いたしました。
